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上海伯東代理KRI 射頻離子源 RFICP 140 實驗室儀器設備

參考價	￥ 1320000
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協議為準

公司名稱伯東企業（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質代理商
更新時間2023/5/10 9:42:39
訪問次數262

產品標簽:

射頻離子源真空鍍膜離子濺射鍍膜進口離子源 veeco離子源

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產地	進口

上海伯東代理美國進口 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕. 在離子束濺射工藝中，射頻離子源 RFICP 140 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現更佳的薄膜特性.

上海伯東代理KRI 射頻離子源 RFICP 140 實驗室儀器設備產品信息

KRI 射頻離子源 RFICP 140
上海伯東代理美國進口 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源, 非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕. 在離子束濺射工藝中，射頻離子源 RFICP 140 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學元件能夠完成發散和聚集離子束的任務. 就標準的型號而言, 可以在離子能量為 100~1200 eV 范圍內獲得很高的離子密度. 可以輸出600 mA 離子流.

射頻離子源 RFICP140

KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術參數:

陽極	電感耦合等離子體 1kW & 1.8 MHz 射頻自動匹配
陽極功率	1kW
離子束流	> 500mA
電壓范圍	100-1200V
離子束動能	100-1200eV
氣體	Ar, O2, N2,其他
流量	5-40sccm
壓力	< 0.5mTorr
離子光學, 自對準	OptiBeamTM
離子束柵極	14cm Φ
柵極材質	鉬, 石墨
離子束流形狀	平行,聚焦,散射
中和器	LFN 2000
高度	25.1 cm
直徑	24.6 cm
鎖緊安裝法蘭	12”CF

KRI 射頻離子源 RFICP 140 應用領域：
預清洗
表面改性
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專li. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

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