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4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2023/5/7 12:58:04
  • 訪問次數201
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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于
2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

自動化設備
4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV
4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV 產品信息

產品簡介:4"高真空RTPOTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4"石英管及高真空系統(機械泵+分子泵), 是專為半導體或太陽能電池基片(3")的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱,升溫速度為50/s,設有30段溫度控制,精度為±1。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機上實現實時控制和溫度曲線顯示

控溫儀表操作視頻

 

產品型號

4高真空RTPOTF-1200X-4-RTP-HV

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、石英樣品架固定在滑動法蘭上,使樣品裝載更加容易。

2樣品架上放置76mmAlN片,承載需要退火的樣品AIN具有很高的熱導率,可使樣品放置的區域有很好的溫度均勻性(±5℃)。

3內插式熱偶保證了溫度的準確性

4、采用PID自動溫度控制,30段程序,并設有過熱和斷偶保護功能。

5、已通過CE認證。

技術參數

1源:爐體單相208V-240V50Hz/60Hz10KW

     高真空系統AC110V/220V任意切換,50Hz/60Hz110W

2、爐體結構:雙層莫來石鋼構

3、石英管:外徑Ø110mm,內徑Ø103mm,長380mm

4、樣品架:76mm

5、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長200mm,絲圈Ø10mm,燈長300mm

6加熱區102mm×305mm,均勻性±5

7、熱偶:K型熱偶

8、溫度:溫度1100℃,額定溫度1000℃,在1000-1100℃下保溫時間不得超過600s

9、控溫精度:±0.5

10、升溫速度:RT-800℃內50/s800-1000℃內10/s

11、高真空系統氣動時間:2min

12、真空度:6.3×10-5mbar(在40min中)

13真空法蘭:KF-D25配有兩個高溫O型圈密封

14、流量計:16ml/min-160ml/min

15、前級泵流速:在10mbar狀態下3.8L/min50Hz4.4L/min60Hz

產品規格

爐體:尺寸760mm×330mm×530mm重量50kg

高真空系統:尺寸:600mm×600mm×700mm,重量18kg

15168338725
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