產品型號

    25KW程序控溫感應熔煉爐SP-25TC

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關），必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

    1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

    2、設有自動水壓、過熱、功率過高保護系統。

    3、溫控器采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序，設有過熱和斷偶保護功能。

    4、配有防腐型真空計，當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類的不同進行系數轉換，量程可到3.8×10E-5 torr。

    5、配有雙旋直連式機械泵。

技術參數

　高頻感應加熱爐

    1、工作電壓：三相AC 380V  50Hz（需60A空氣開關）

    2、輸入功率：15KW

    3、振蕩頻率：30KHz-80KHz

    4、循環比：80%

    5、感應線圈：外徑Ø120mm，內徑Ø110mm，高50mm（可微調）

　溫度控制器

    1、工作電壓：AC208V-240V  單相

    2、控溫精度：±5℃

    3、溫度：連續工作溫度1000℃-2000℃，工作溫度1700℃（工作時間<30min）

    4、升溫速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃）

　石墨坩堝（易耗件）

    1、高純石墨坩堝：外徑Ø40mm，內徑Ø37.1mm，高100.5mm（可選購SiC涂層，涂在坩堝內部，以提高金屬熔煉時的潔凈度）

    2、容量：樣品所占容積應為石墨坩堝容積的1/2

　石英管和密封法蘭

    1、石英管：外徑Ø100mm，內徑Ø92mm，長355mm

    2、頂部法蘭：不銹鋼法蘭，裝有不銹鋼針閥，設有1個鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內部，更準確地測量樣品溫度）

    3、底部法蘭：設有不銹鋼針閥和KF25接口（可通過波紋管與真空泵相連接）

　水冷機

    1、溫度：5℃-30℃

    2、水流速：16L/min

    3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作

  （建議使用特定的冷卻劑液以達到的冷卻效果）

　真空泵

    1、工作電壓：AC208V-240V單相

    2、抽氣速率：120L/min

    3、極限真空度：10^-2torr

  （為了獲得更高的真空度以達到更好的熔煉效果，可選購渦旋分子泵，真空度可達10E-5torr）

注意事項

　操作前，必須仔細閱讀說明書，且操作人員需帶防護面罩。使用時，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動氬氣下進行，流量小于200ml/min，需始終保持石英管內的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時刻注意石英管內的氣壓，若氣壓超過安

　全值，會引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。

其他事項

　本機可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學氣相沉積（HPCVD）系統。請參看下圖。