三床RTO原理是讓有機廢氣在高溫低氧濃度氣氛中燃燒，分解成CO2和H2O。采用熱回收率達95%以上的蓄熱式換熱裝置，回收VOCs燃燒后產物中的濕熱，用于預熱切換過來的含VOCs的混合氣體。使之加熱到800℃，進行燃燒。熱效率更高>95%，凈化效率高>99.5%，維護工作量少、操作安全可靠，裝置使用壽命長。

　　三床ROT原理分三個階段：

　　階段一：廢氣通過蓄熱床1被預熱，然后進入燃燒室燃燒，蓄熱床C中殘留未處理廢氣被凈化后的氣體反吹回燃燒室進行焚燒處理（吹掃功能），分解后的廢氣經過蓄熱床B排出，同時蓄熱床B被加熱。 

　　階段二：廢氣通過蓄熱床2被預熱，然后進入燃燒室燃燒，蓄熱床A中殘留未處理廢氣被凈化后的氣體反吹回燃燒室進行焚燒處理，分解后廢氣經過蓄熱床C排出，同時蓄熱床C被加熱。 

　　階段三：廢氣通過蓄熱床3被預熱，然后進人燃燒室燃燒，蓄熱床B中殘留未處理廢氣被凈化后的氣體反吹回燃燒室進行焚燒處理分解后廢氣經過蓄熱床A排出，同時蓄熱床A被加熱。 

　　如此周期性運行，廢氣在燃燒室內氧化分解，燃燒室內溫度維持在設定溫度（一般為800-850攝氏度）。當RTO進氣口的廢氣濃度達到一定值時，VOCs氧化釋放的熱量能夠維持RTO蓄熱和放熱的能量儲備，則此時RTO不需要使用燃料就能夠維持燃燒室內的溫度。