B.主要技術(shù)指標(biāo): 1、測(cè)量原理:觸針法,差動(dòng)電感傳感器; 2、測(cè)量范圍:位移的量程:4,20,100,500μm; Ra的量程:0.2,1,10,50μm; 3、示值誤差:≤±5%; 4、最小分辨力:0.001μm 5、取樣長(zhǎng)度:0.25,0.8,2.5mm; 6、評(píng)定長(zhǎng)度:N倍取樣長(zhǎng)度,N=1,2,3,4,5; 7、數(shù)字濾波器:國(guó)際、相位校正、不濾波; 8、測(cè)量參數(shù):Ra,Ry,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rpm,Rvm,Rtm,R3z,R3y,λa,λq,△a,△q,Sm,S,Sk,Rku,Hsc,Pc,tp; 9、輪廓圖形:直接輪廓、濾波輪廓、tp曲線,幅度分布曲線; 10、輪廓圖形的垂直放大倍率: 10,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000; 11、輪廓圖形的水平放大倍率:2,5,10,20,30,40,50,100,200,500,1000,2000,5000,10000; 12、驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度:40mm; 13、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度:1mm/s; 14、傳感器返回形式:手動(dòng); 15、傳感器測(cè)針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm; 16、立柱結(jié)構(gòu):手動(dòng)升降; 17、立柱垂直測(cè)量高度:300mm; 18、工作底臺(tái):400mm×600mm 大理石平臺(tái)。 |