燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。
燒結(jié)區(qū)爐管采用耐熱鑄鋼制的馬弗爐爐管,且爐管留有充分的長度,可使保護(hù)氣氛穩(wěn)定,能保證傳送帶上的橫向溫差控制在±2℃以內(nèi)。為了不使在預(yù)燒區(qū)脫潤滑劑時污濁了的保護(hù)氣體流入燒結(jié)區(qū),在預(yù)燒區(qū)和燒結(jié)區(qū)之間設(shè)有擋板,以阻止這部分氣體流入。爐管的隔熱材料除承受爐管的重力外,全部采用陶瓷纖維,因此熱經(jīng)濟(jì)性好,隔熱效果好,從而使?fàn)t體表面溫度控制在60℃以下。用SiC加熱元件間接式加熱。可以從外部更換。另外加熱器的各個端子采用的是耐熱材料。
金屬還原高溫?zé)Y(jié)爐使用的注意事項(xiàng)
(1)當(dāng)使用氫氣或分解氨時,要先通入氮?dú)猓诖_保爐中的空氣被排出時,才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。
(2)對鉬絲作加熱元件的燒結(jié)爐,在通電前爐體中應(yīng)通入保護(hù)氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。
(3)爐門及氣體排出口應(yīng)點(diǎn)明火燒除,以防止氧氣進(jìn)入或氫氣排出而發(fā)生爆炸危險和煤氣中毒危險。
(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時應(yīng)停留一段時間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。
(5)在升溫前和操作中應(yīng)不時檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設(shè)備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
(6)停爐前應(yīng)先斷電,在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。
(7)除了因維修必須停爐外,要避免頻繁停爐。燒結(jié)爐的頻繁開停,會造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內(nèi)氣氛不純,爐溫容易波動等弊端。