Tetra 30 等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。
在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 30 等離子系統一同使用的見的選裝件。
Tetra 30 等離子系統主要應用于以下領域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車行業
生物技術
彈性體技術
電子技術
電子顯微鏡
精密工程
研究和開發
半導體技術
小批量生產
塑料技術
醫療技術
微系統技術
太陽能電池技術
紡織技術
基本設備
根據具體組件/選裝件，外殼規格會有所不同
腔室容積：根據具體版本，分為 34 - 57 升
供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
氣源
質量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）
裝載件
產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
電極
單層或多層
具有氣體噴淋的 RIE 電極
控制系統
PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
壓力測量
Pirani
Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器
數字型
發生器
| 頻率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W；0 - 1200 W |
所有發生器均為 0 - 99% 無級可調型
真空泵
規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。
