otsukael 高靈敏度示差折光儀 鎢絲燈 光源DRM-3000的介紹
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征
通過注射器方法可以很容易地進行樣品注入。
數據處理很容易，因為控制和數據采集是從個人計算機進行的。
低噪聲、高穩定性和可重復測量是可能的。
應用實例
通過靜態光散射測定重均分子量的 dn/dc 測量
表面活性劑等的膠束臨界濃度（c.m.c）測量
高分子吸附量的測定
高分子共聚物的成分分析
脂質體相變溫度測量等
除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。 |
特征
可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內測量橢圓參數
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
測量項目
橢圓參數（tanψ，cosΔ）測量
光學常數（n：折射率，k：消光系數）分析
膜厚分析
測量對象
半導體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學定數(波長分散)化合物半導體
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコンFPD
配向膜各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜光學薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価
| 光源 | 鎢絲燈 | |||
| 探測器 | 光電二極管陣列 | |||
| 測量波長 | 633 nm（帶干涉濾光片） | |||
| 樣品池 | 流通池容量 8 μL（注射器法） | |||
| 溫度范圍 | 10至50°（無結露） 恒溫水循環系統 | |||
| 測量范圍 | 0 至 ±4× 10 -3Δn | |||
| 噪音水平 | 2×10 -7 Δn（25℃，蒸餾水） | |||
| 基礎穩定性 | 2×10 -6 Δn/h（25℃，蒸餾水） | |||
| 電源 | AC100V±10V, 150VA (最大) | |||
| 尺寸（WDH） | 260×400×165mm | |||
| 重量 | 約13公斤 | |||
