光解氧化除臭設備采用微波場激發無極燈，產生高強紫外線，其中154nm-185nm波長在系列光譜中使占比例高達14%，紫外線劑量大于65mw/cm2，光子能量大于880kJ/mol，是當前工業UV/O3紫外燈中劑量和能量的紫外線，能迅速裂解硫化氫（H-S鍵能為368kJ/mol），氨氣（H-N鍵能為393kJ/mol）等鍵能小于880kJ/mol的分子鍵；光解時間大于1s，無極燈紫外線同樣能裂解自然界中相對比較穩定的氮氮叁鍵（鍵能941.69kJ/mol）。無極燈紫外線光解氧氣產生臭氧（活氧O3），臭氧能快速氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據污染物的濃度以及后續反應時間設定。
無極燈沒有電極，避免了由于電極氧化性老化導致的問題，同時提高了紫外燈的使用壽命，克服了設備加工中電極絕緣和密封所帶來的結構問題。無電極設計的優點還在于它的形狀任意性和放置的隨意性，能限度保證廢氣凈化工程調試的需要，避免設備結構固定造成的機械破壞。微波場的熱效應除了提高系統的氧化速度外，它的非熱效應在光解過程中作用更加突出，微波場雖然不能使分子離子化，但是它能以億倍的速度提高離子化的分子的運動速度，提升光子的撞擊能量，達到雪崩式裂解污染物的作用。
設備有活性碳纖維過濾，無極燈光解和臭氧氧化混合裝置組成，自控系統包括紫外線強度傳感器，臭氧濃度傳感器，溫度傳感器，污染物濃度傳感器，流量計，采用PLC控制，可作為高濃度污染物處理的配套設備。
