聚焦光束檢測設(shè)備基于相機(jī)式原理的相機(jī)式光斑分析儀，儀器內(nèi)部采用CMOS傳感器實(shí)現(xiàn)探測，但是單純的CMOS傳感器無法承受焦點(diǎn)光斑的功率密度，因此Degger-tools在激光入口處進(jìn)行特殊處理，入口前面設(shè)計(jì)光學(xué)成像以及衰減元件。因?yàn)槌旒す獾哪芰棵芏冗^高，必須對所有光學(xué)元件對單一波段進(jìn)行反光涂層，用于實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)光斑的監(jiān)控測試需求，因此僅可對三個(gè)波段實(shí)現(xiàn)測量。聚焦光斑分析儀在超快激光的精密生產(chǎn)上有廣泛的應(yīng)用，是調(diào)試高精度DOE的工具。
Focus Beam Profile是德國Degger-tools生產(chǎn)用于光斑檢測設(shè)備，主要測量焦點(diǎn)光斑輪廓，尺寸和位置的聚焦光斑分析儀，可以實(shí)現(xiàn)對超短脈沖激光狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控，主要適用于三個(gè)波段：1030/1064nm，515/532nm，343/355nm，該設(shè)備的有效傳感面積為6.656 mm x 5.325 mm，在配置對應(yīng)的采樣器或衰減片后，可以實(shí)現(xiàn)大功率的監(jiān)控需求。
超短脈沖聚焦光束分析儀規(guī)格參數(shù)：
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| Focus Beam Profile |
| 傳感器類型 | CMOS |
| 尺寸 | 150mm×130mm×56mm |
| 光譜范圍： | 1030/1064nm，515/532nm，343/355nm |
| 功率范圍 | 50mW — 500mW |
| 總分辨率 | 1.31 Mpixel |
| 芯片尺寸 | 6.656 mm x 5.325 mm |
| 像素大小 | 5.2 μm |
| 精度-光束位置 | ± 0.2 μm |
| 精度-光束質(zhì)量-M2 | ± 5 ％ |
聚焦光束輪廓分析儀M2測量方法：
聚焦光束監(jiān)控M2因子一直是激光檢測的難題，傳統(tǒng)利用導(dǎo)軌檢測的方案無法實(shí)現(xiàn)焦點(diǎn)測量，因此再檢測時(shí)需要在瑞利長度內(nèi)選取采樣數(shù)據(jù)，保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
假設(shè)激光波長是1微米，激光聚焦后的瑞利長度就為1.26mm。按照ISO11146檢測要求最少需要檢測15個(gè)截面，如下圖說示，方框里面五次檢測，方框左右各五次檢測。
當(dāng)激光的聚焦面大致在Focus Beam Profile的入口處的時(shí)候，就可以測量當(dāng)前截面的直徑，通過上下移動(dòng)振鏡，就可以得到不同截面的激光分布和直徑。一直上下移動(dòng)就可以找到最小的直徑，也就是聚焦平面了，我們定義為Z軸0。
找到聚焦平面后，以當(dāng)前的激光為例子，需要測量Z軸-1.8mm到1.8mm，
-1.8到-1.2之間需要測量5個(gè)截面。
-1.2到1.2之間需要測量5個(gè)截面。
-1.2到1.8之間需要測量5個(gè)截面。
當(dāng)然，也可以從-1.8到1.8 每隔0.1mm測量一次。這樣就可以得到所有截面的能量分布，激光直徑。
測量的分布數(shù)據(jù)可以選擇不同的圖片格式保存下來，jpg，png，tiff，等等。原始數(shù)據(jù)csv也可以輸出。
Degger相機(jī)式光斑分析儀訂購型號及描述：
Focus Beam Profile
