ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X
ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 排氣單元 離子濺射儀VTS-350M/X
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。
特點
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥,組件更少,維修更容易。
真空計等配件可以安裝在同一個架臺上。
空冷型,不需要冷卻水。
帶有輪子,易于移動。
配有調節器,可以確保安裝的安全性。
規格
型號 | VPC-053 |
極限壓力 | 7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮時) |
主泵 | 油擴散泵(空冷) 50 L/sec |
輔助泵 | 油回轉真空泵 20 L/min |
メイン閥門 | 25A蝶閥 |
輔助閥門 | 三通閥 |
吸氣口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸 (W×D×H) | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、電力系統、壓力測量口等必要機器的小型高真空排氣裝置。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。
DEPOX系列有不同排氣系統構造的4個類型。
使用簡單、適合用于實驗。
特點
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
使用三通閥,組件更少,維修更容易。
真空計等配件可以安裝在同一個架臺上。
空冷型,不需要冷卻水。
帶有輪子,易于移動。
配有調節器,可以確保安裝的安全性。
規格
型號 | VPC-053 |
極限壓力 | 7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮時) |
主泵 | 油擴散泵(空冷) 50 L/sec |
輔助泵 | 油回轉真空泵 20 L/min |
メイン閥門 | 25A蝶閥 |
輔助閥門 | 三通閥 |
吸氣口 | VG-25 |
重量 | 20kg |
最大尺寸?。╓×D×H) | 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |