ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 泵 DAU-20

ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 泵 DAU-20

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。

特點

• 價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。

• 氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。

• 單級排氣系統比兩級排氣系統更快。

• 具有鎖定保護和過流保護功能等安全設計。

• 大氣壓下可以運作。

用途

• 真空吸盤，晶圓和處理設備。

• 真空鑷子，醫療器械。

• 印刷設備。

• 自動包裝機。

• 光學器具。

• 半導體行業。

• 注塑機。

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計

特點

• 價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。

• 氣體接觸區域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。

• 兩級排氣系統與單級排氣系統相比具有更低的壓力（良好的真空）。

• 內置自動復位型熱保護器等安全設計。

• 大氣壓力下可運作。

• 結構簡單，維護方便。

• Unit	50Hz	60Hz
  有效排氣速度	L/min	120	145
  極限壓力	Pa (kPa)	3.3×10 3 （-98.0）
  使用電動機		単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run
  全負荷電流	A	4.8	5.8
  重量	kg	26.0
  吸?排氣口徑	mm	ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2)
  使用環境溫度范圍	℃	0～40
  最大尺寸	mm	193.5(W)×411(L)×285(H)