ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵DAT-50D/DAT-50DA
ulvac-kiko隔膜型干泵 膜片泵 真空泵DAT-50D/DAT-50DA
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。
適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。
特點
玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發電源和電極，可同時蒸發或多層蒸發。
更改為EB規格，可成膜高熔點的材料。
蒸發設備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調節器，可確保設置的安全性。
規格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液體氮氣使用時） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa臺/10min（液體氮氣使用時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內徑Φ390mm×高350mm) |
| 饋通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸 | □50mm ? □220mm（Max） | |
| 電源系統 | 蒸發電極構成 | 3點式 |
| 蒸發電源?數量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統 | 主泵 | 油擴散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液體氮氣捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回轉泵 200L/min、2臺 | |
| 油霧捕集器 | 選項 | |
| 操作系統 | 主閥 | 蝶閥 |
| 補助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項 | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統 | 皮拉尼真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | 選項 | |
| 設置 | 最大尺寸 本體 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 設備本體收納 | |
