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ulvac-kiko真空泵 羅茨泵 真空螺桿泵

參考價 650000
訂貨量 ≥1000
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳九州工業品有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號PMB100D/PM
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2023/4/11 13:20:21
  • 訪問次數621
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深圳九州工業品有限公司,坐落于深圳市,是一家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業務。搭建工業品供應鏈,采用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

 

 

 

 

 

 

 

設備
材質 其他 流量 01m3/h
驅動方式 其他 性能 耐腐蝕
通過高溫領域的泵體均熱化,實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。
ulvac-kiko真空泵 羅茨泵PMB100D/PMB600D
ulvac-kiko真空泵 羅茨泵 真空螺桿泵 產品信息

ulvac-kiko真空泵  羅茨泵PMB100D/PMB600D

ulvac-kiko真空泵  羅茨泵PMB100D/PMB600D


通過高溫領域的泵體均熱化,實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

特點

  • 高溫區域均熱化

    實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。

    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封

    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。

  • 瞬停對策

    采取了1000msec以內瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性

    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

  • 通信功能

    可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現集中監控。

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規格

型號UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大

排氣速度

50Hz410 m3/h

(6833 L/min)

653 m3/h

(10883 L/min)

1012 m3/h

(16867 L/min)

1701 m3/h

(28350 L/min)

2700 m3/h

(45000 L/min)

到達壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力(吸入圧力)大氣壓
最大排氣口壓力

(排出圧力)

1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180~240 VAC/

380~440 VAC

(50/60 Hz)

200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/

380~440 VAC

(50/60 Hz)

電流值穩定時23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)

20.5 A(at 400V)

39.8 A(at 200V)

20.5 A(at 400V)

最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)

40.5 A(at 400V)

68.3 A(at 200V)

40.5 A(at 400V)

冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃5 SLM
氣鎮0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM




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