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廣電計量檢測集團股份有限公司

日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京同林科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質
  • 更新時間2023/4/10 15:30:22
  • 訪問次數303
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臭氧發生器
日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產設備 SGX-1G21SNC 型號:SGX-1G21SNC 品牌:日本住友 臭氧濃度:0-150ppm 臭氧產量:150ppm 使用......
日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產設備 產品信息
住友的潔凈臭氧水制造設備是將潔凈臭氧發生器產生的臭氧氣體溶解于超純水中,生成臭氧水的裝置。
限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出,在半導體、液晶等電子設備材料的制造過程中,用于去除有機物、表面改性等用途,得到眾多客戶的高度評價評價。。
應用領域
半導體
各種晶圓
FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
硬盤
SGX-1G21SNC規格
臭氧水濃度:5至100ppm
臭氧水流量:1 至 120 升/分鐘
臭氧水供給壓力:max.0.25MPa
原料氣:氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源:AC200V 三相


SGX-1B11SN規格
臭氧水濃度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
原料氣 氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源 AC200V 三相

SGXG規格
臭氧水濃度:5-30ppm
臭氧水流量:1 至 60 升/分鐘
原料氣:氧氣(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源:AC200V 三相
特征
能夠處理高濃度和大流量
占地面積小,結構緊湊
低廉的運行成本(低功耗、更換部件少、放電電池壽命長)
高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池
快速啟動和出色的集中響應能力
通過連接臭氧濃度計(反饋控制)實現出色的濃度穩定性
CE/NRTL 認證,符合 SEMI 標準
停機時無需維護
也可提供不含硝酸的臭氧水
與日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產設備相關的實驗現場
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