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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

參考價 550000
訂貨量 ≥1000
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳九州工業品有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SE-101
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2023/4/7 9:00:38
  • 訪問次數806
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深圳九州工業品有限公司,坐落于深圳市,是一家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業務。搭建工業品供應鏈,采用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

 

 

 

 

 

 

 

設備
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀 產品信息

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101

日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101




這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。

規格

  • 測量

重復性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一點(膜厚:約100nm)重復測量100次時的標準偏差值。

測量速度
  • 最大測量速度
    900 點/分鐘以上(寬模式,測量 100 平方毫米面積時)
    5,000 點/分鐘或以上(高清晰模式,測量 1 平方毫米面積時)

光源
  • 半導體激光器(振蕩波長636nm)

測量點
  • 廣域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞臺尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圓
    (最大 ?300 mm 可選)

尺寸
(寬 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 約200公斤

界面
  • GigE(相機信號)


  • 其他的

界面
  • GigE(相機信號)

電源
  • AC100-240V

軟件
  • ME-視圖

配件
  • 臺式電腦、顯示器、使用說明書、標準樣品



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