CX-3/100粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù)：
A/粗糙度測量
1、評定參數(shù)：Ra Ry Rz Rt Rq Rp Rv Rmax S Sm tp
2、測量范圍：Ra 0.01μm-10μm
3、觸針位移：±500μm
4、分 辯 率：0.001μm
5、示值誤差：≤3%±5nm
B/輪廓測量
1、使用范圍：X:0-100mm Z:0-450mm
2、測量范圍：X:0-100mm Z:±3mm（可選配±6mm或±10mm）
3、分 辯 率：0.001μm、0.1μm
4、半經(jīng)誤差：0.1% - 0.8%
