特點：
1.本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法，測量時不損傷工件表面，能快速測得各種工件表
面微觀形貌的立體圖形，并分析計算出測量結(jié)果。適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度；
標尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表
面結(jié)構(gòu)測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。
2.由于儀器測量精度高，具有非接觸和三維測量的特點，并采用計算機控制和快速分析、計算測量
結(jié)果，本儀器適用于各級測試、計量研究單位工礦企業(yè)計量室，加工車間，也適用于高等院校和
科學研究單位等。
