技術指標
項目內容 | 性能指標 | ||
型號 | GM-100A | JGM-500A | JGM-1000A |
抽速 | 100m3/h | 480m3/h | 800m3/h |
極限壓力 (僅軸封氮氣吹洗) | 10Pa | 2X10-1Pa | 2X10-1Pa |
電源 | 三相 380/220V 50Hz | 三相 380/220V 50Hz | 三相 380/220V 50Hz |
電機功率 | 1.5KW | 3KW | 3.8KW |
轉速 | 2865rpm | 2865rpm | 6000rpm |
環境溫度 | 5-40 ℃ | 5-40℃ | 5-40 ℃ |
氮氣流量 | 0-60slm | 0-60slm | 0-14slm |
噪聲 | <70dB | <70dB | <60dB |
進氣口連接法蘭 | KF50 | DN 100 ISO-K | ISO 100 |
排氣口連接法蘭 | KF40 | KF40 | KF25 |
外型尺寸 | 1030×405×530 (mm) | 1030×405×910 (mm) | 693×280×694 (mm) |
重量 | 255 kg | 380kg | 230kg |
應用領域
主要的應用領域是集成電路、太陽能電池等設備中的無油抽氣系統,適用于中度腐蝕工藝和清潔工藝環境,如進樣室、傳輸腔、PVD、硅刻蝕、金屬刻蝕、計量、光刻等。
其它的應用領域包括真空冶金工業的真空脫氣、真空熔煉、鋼水真空處理、空間模擬、低密度風洞等裝置中抽除非腐蝕性氣體,化工、食品、醫藥、電機制造等工業的蒸餾、蒸發、干燥等。
產品說明
羅茨干式真空泵機組 (JGM系列) 產品特點是無油,可獲得清潔的真空環境,可抽除可凝性氣體,直接啟動、啟動快、抽速大、高真空、可實現連續運轉,零維護、能耗低、體積小、噪音低。