產品概述
采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，不用溫度壓力補償。
產品特點
1、產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍提高。
5、機電—體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有好的重復性，實現了計量的準確。
5、結構的優化，MFM流量計的壓力損失達到小化。
6、采用MF傳感技術，使流量計工作穩定。
7、零點自校功能，測量準確。
8、多種氣體實際標定，全量程補償。
9、快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理。
10、規格全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定。
11、精度等級高。
12、流量計報警功能，使監控可靠。
13、操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數。
14、運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的選擇。
產品參數
測量介質：各氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
流量范圍： DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上 流量的測量介質為空氣而言;
(b)以上 流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯系廠家單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。
服務介紹
1、對本公司產品實行負責制，提供技術支持和技術服務；
2、對產品質量實行三包，質保期3年；
3、免費對用戶的工程技術人員就產品的使用、維護及一般的故障處理等方面進行培訓；
4、指導客戶安裝調試；
5、定期對用戶進行回訪和技術交流；
6、優先對項目用戶提供產品和技術交流；
7、免費提供產品資料和說明書。
山東圣軒儀表科技有限公司是一家集流量儀表、溫度/壓力儀表、液/物位儀表及流體控制系統研發、生產、銷售、服務為一體的自動化儀表制造企業。公司把產品質量放在重要位置，先后引進德國科隆0.2級DN10-DN800液體流量自動系統標定計量鑒定裝置、德國E+H 0.5級DN15-DN300氣體流量自動系統標定計量鑒定裝置、 艾默生0.3級DN25-DN200氣體質量流量標定裝置對流量計標定。讓每位用戶放心，安心、省心。公司憑借精良的設備、強勁的實力、人性化的管理、積極的服務得到了市場的支持。自成立以來自主研制生產流量產品10余種，成功開發多種成套自動化儀表和流量檢定裝置。應用于石油、石化、冶金、制藥、食品、水利工程、污水處理等多個領域，受到客戶好評。目前我公司研發生產的儀表有：氣體類流量計（含氣體渦輪流量計、金屬管浮子流量計、熱式氣體質量流量計、旋進漩渦氣體流量、渦街蒸汽流量計）等測量氣體類流量儀表；液體類流量計（含電磁流量計、渦輪流量計、超聲波流量計、金屬管浮子流量計、橢圓齒輪流量計、靶式流量計）等測量液體類儀表；差壓式標準節流裝置（—體化標準孔板、V型錐、文丘里、阿牛巴、德爾塔巴、威力巴、笛型勻速管）等差壓式巴類流量計、定量灌裝控制系統等多種流量儀表，并可以根據客戶的不同需求定制流量計。〉〉〉希望有機會與您合作〉〉〉歡迎您來我公司實地考察〉〉〉質量與價格都具有很大的競爭力質量鑄就品牌，誠信爭得市場！
RX-MFM氣體質量流量控制器 產品信息
