| 性能/參數 | LKO2系列質量流量控制器-OEM |
| 流量范圍 | 0-100SCCM、1000SCCM、20SLPM、50SLPM |
| 標定氣體 | 內置7條氣體可選擇 |
| 精度(調零后) | ±(1.5%Rd+0.5%FS) |
| 重復性 | ±0.5%Rd |
| 漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm |
| 工作范圍 | 1-99% |
| 響應時間 | 100毫秒(調整) |
| 啟動預熱時間 | 1秒內 |
| 標準工況 | 25oC & 14.696 psia |
| 工作溫度范圍 | 0~-50℃(另有高溫訂制品) |
| 工作濕度范圍 | 0-90%RH(非冷凝) |
| 耐壓 | 10Bar |
| 進口工作壓力 | 4Bar內 |
| 安裝方向 | 任意 |
| 閥門狀態 | 常閉 |
| 材質 | SUS不銹鋼、密封圈VITON |
| 數字信號 | RS485(ACSII、MODBUS-RTU) |
| 模擬信號 | 標準0-5V 選配:4-20mA |
| 電氣接口 | 標準DB9 |
| 供電電壓 | +24VDC，200mA |
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針 | 空 |
| 2針 | 空 |
| 3針 | RS485- |
| 4針 | 模擬信號輸入 |
| 5針 | RS485+ |
| 6針 | 模擬信號輸出 |
| 7針 | 電源+24VDC |
| 8針 | 電源地 |
| 9針 | 模擬信號和通訊COM端 |
| 流量 | 壓損(PSID)排放大氣中 | 接口 |
| 100SCCM | 10mbar | 1/8NPT母 |
| 100SCCM | 10mbar | |
| 20SLPM | 350mbar | 3/8NPT母 |
| 50SLPM | 500mbar |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
