
結合不同的光學鏡組,SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
性能特點
1. 自動采集數據,避免人為讀數誤差,精度高;2. 測量過程全自動化,效率高;
3. 可測量任意方向的回轉軸,可測量任意角度間隔,通用性強;
4. 可自動生成誤差曲線和補償數據,根據不同標準自動計算定位精度結果,無需人工計算。

SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,是高精度、高靈敏度測量儀器,廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。