iXL 高性能干式真空泵機組
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。
這些性能的 泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內無須 維護。
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。可 用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節省寶貴的工廠地面空間。環保 模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環境。
