| | 3660 | 3665 |
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
| 有效范圍 | 2-99% | 5-99% |
| 重復性 | ±0.5%FS | |
| 響應時間 | 2秒 | 3秒 |
| 動作壓差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
| 另有低壓差、高壓差產品可選， | ||
| 耐壓 | 1.0Mpa | |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
| 溫度范圍 | 5-45℃ | |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | |
| 材質 | 本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
| 密封圈VITON，選配NBR或FKM | ||
| 電氣接口 | DB9 | |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 | |
| 供電 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
| 管路連接 | 標配1/4F9 | 標配3/8F9 |
| 選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
| 重量 | 約1000g | 約1500g |
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
| 3針腳/紅色 | +15VDC |
| 4針腳/黑色 | 電源COM |
| 5針腳/黃色 | -15VDC |
| 6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
| 7針腳/綠色 | 輸出COM |
| 8針腳/蘭色 | 輸入COM |
| 9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質量流量控制器的時候，進口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進行設定a。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態 再操作。
