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『關鍵參數』

主要參數 參數范圍 分辨率 準確度

大氣采樣流量 （0.1～1.0）L/min 0.1L/min 優于±2.5%

氟化物采樣流量 （16.7～110）L/min 0.1L/min 優于±2.5%

流量穩定性 / 優于±2.0%

流量重復性 / 優于±2.0%

計前壓力 （-35～35）kPa 0.1kPa 優于±2.0%

環境大氣壓 （60～120）kPa 0.1kPa 優于±0.5kPa

溫控范圍 （15～30）℃ 1℃ 優于±1.5℃

工作溫度 (-30～50) ℃

工作電源 AC220V±10% 50Hz

噪聲 ＜68dB(A)

功耗 ＜200W

外形尺寸 340mm×280mm×265mm

整機重量 約6.6kg