Form Talysurf 電感式系統特點:
1mm 垂直量程/16nm 分辨率
◆提供精密金屬成形和其他應用的形狀（輪廓）以及表面粗糙度測量功能。
200mm 水平驅動
◆應用于電感式系統，以提供增強的測量量程。也可以標準 60mm 和 120mm 版本。60mm版本允許7x8mm的取樣長度使測量符合 ISO4288。
0.50um/120mm 直線度誤差
◆適用于輪廓測量。可選的基準校正包。
0.125um 橫向數據間隔
◆能夠測量小型組件和特征。縮短了啟動長度和停止長度；進一步提高了可用性。
450mm 機動立柱
◆當無法測量到零部件的特征時，機動傾斜版本可用于提供應用靈活性。
功能:
◆Form Talysurf電感式系統包括測量表面粗糙度的重要內容。包括基本粗糙度和波紋度參數，以及形狀誤差分析、特征去除、縮放工具和車間應用的可編程性。
形狀分析
◆測量并計算半徑、角度（斜度）和尺寸
用戶界面
◆結合系統可編程性，提供正確的車間解決方案；可根據用戶要 求定制。
雙輪廓分析
◆允許比較測量以確定磨損、公差等。
Ultra輪廓分析
◆用于尺寸應用的單獨軟件實用程序，可以直接比較設計數據和測量值，并獲得誤差結果。還可為應用提供其他硬件。
Talymap 3D分析
◆用于形貌應用的單獨軟件實用程序；還需要其他硬件。
技術參數:
水平性能 | Form Talysurf i60 | Form Talysurf i120 | Form Talysurf i200 |
驅動長度- X | 60mm / 0.1mm | 120mm / 0.1mm | 200mm / 0.1mm |
驅動/測量速度 | 10mm/s -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 和1mm/s | ||
X方向的數據取樣間隔 | 0.125μm [ 0.1mm到120mm長度] | ||
直線度不確定度(Pt) | 0.5μm / 60mm | 0.5μm / 120mm | 0.75μm / 200mm |
直線度重復性 (PV) | 0.15μm | 0.15μm | 0.2μm |
垂直性能 | |||
標稱測量量程(Z） | 量程1=1mm，量程2= 0.2mm | ||
分辨率(Z) | 量程1=16nm，量程2=3.2nm | ||
量程與分辨率的比率 | 65,536 : 1 | ||
測針臂長度，針尖半徑，測力 | 60mm臂, 2μm半徑錐球形金剛石, 1mN測力 | ||
Z軸非線性 | (0.05 Z [mm] ) μm (50 Z [英寸] )微英寸(Z =傳感器位移) | ||
Z軸示值重復性 | 平面- 0.05μm，曲面- 0.05μm | ||
系統性能 | |||
球形標準器 | 12.5mm (0.49英寸)標稱半徑標準器 | ||
標定Pt | 0.25μm | ||
系統噪音- Rq | 量程1=15nm，量程2=8nm | ||
半徑測量不確定度 | 0.1 - 22mm= 標準值的1%到0.015%，22 - 1000mm= 標準值的0.02%到0.1% | ||
傾角測量不確定度 | 0.5 弧分的不確定度(+ / - 35°的量程) | ||
尺寸L x D x H (花崗巖基座) | 760x500x120mm | ||
機動立柱 | 450mm (17.7英寸)垂直驅動 | ||
*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改
