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雙腔磁控濺射光學鍍膜機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱廣東匯成真空科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/3/25 17:45:09
  • 訪問次數380
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廣東匯成真空科技股份有限公司是一家面向的真空應用解決方案提供商,研發、生產和銷售各類光學鍍膜設備、功能性薄膜涂層設備、裝飾涂層設備、卷繞鍍膜設備、汽配鍍膜設備、連續式磁控濺射鍍膜生產線、超高真空系統等真空設備、半導體設備、電子生產設備、光電設備、光伏設備、動力電池設備及產品相關配件的國家企業,專注設備與產品的相關制造工藝和應用技術、控制軟件、工藝流程控制軟件及相關生產自動化軟件的研發、應用,并提供技術轉讓、技術咨詢和技術服務。 公司成立于2006年,目前擁有在職員工近300人,其中高、中級以上專業技術職稱人員80余人,公司聘請了國內真空行業專家、教授和高級工程師,專門指導和負責公司新產品的研發與設計,取得發明、外觀設計、實用新型61項,版權著作權6項。公司擁有標準化生產車間,大型加工中心配備500噸液壓沖壓機、退火爐、小件機加工中心、液壓擺式剪板機、數控火焰切割機床、數控水切割平臺、自動堆焊不銹鋼裝置、數控加工中心,研發中心配備百格劃痕儀、鉛筆硬度計、恒溫恒濕箱、分光光度計、鹽霧測試儀、金相顯微鏡、線性磨耗儀、硬度計、膜厚測試儀。
HighprecisionMAGNETRONSPUTTERINGOPTICALCOATINGMACHINE雙腔磁控濺射光學鍍膜機濺射沉積系統在側壁上裝有多個圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可地減少涂層過程中的顆粒污染,通過多個腔體的靈活組合,大大提高生產效率和膜層性能
雙腔磁控濺射光學鍍膜機 產品信息
High precision MAGNETRON SPUTTERING OPTICAL COATING MACHINE 雙腔磁控濺射光學鍍膜機

濺射沉積系統在側壁上裝有多個圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可地減少涂層過程中的顆粒污染,通過多個腔體的靈活組合,大大提高生產效率和膜層性能。

旋轉陰極裝置與行內普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結構定制,給客戶產品擺放達到的利用空間;全自動一體的提拉升降的轉架裝置,大幅度減少機器開關門時間,大大提高了生產效率與工藝穩定性;匯成離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩定工作效率,低耗能等特點。

可利用時間精準控制薄膜厚度,達到設計工藝要求,節省晶控,光控環節,為客戶省去大量的膜厚儀耗材;可生產高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應對各種用途;自動調節氣體流量裝置,保持穩定的靶電壓,保證成膜品質;可選“校正板外部調節機構”。

AR 膜(基材玻璃透過率>91.5%):
■ 420-680nm波段,單面平均透過率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 雙面平均透過率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

顏色膜或漸變色膜:
■ 以客戶樣板為準,連續五爐隨機位置裝片或滿爐,顏色色差ΔE<1.2;
■ 水煮測試:水煮 80℃30min,3M 百格測試(1*1mm)后大于 4B。


優勢:

?出色的均勻性
?可實現不同的材料或提高產量
?集成式等離子體源,可提高涂層質量并進行基板預清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標利用率,不影響涂層規格
?簡單的目標交換和易于訪問的系統維護

Product Advantage.

產品特點
HCAR系列高精密磁控濺射光學鍍膜機包括以下關鍵功能:
  • 有效

    基于PC的有效自動系統控制,用于涂層過程

  • 優異

    優異的均勻性和的生產良率

  • 精準

    精確監控膜厚

  • 高效

    出色的濺鍍技術和很強的量產能力

  • 匯成自主研發離子源

  • 簡單

    易于操作和維護

  • 1350T
規格
型號 HCMS-1350T
鍍膜區域 Φ1350x H700mm
結構 雙腔室
性能
轉速 10~100RPM(可變)
進出料室抽速 大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速 3.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ...
主要配置
夾具系統 底部中心旋轉公轉夾具桶
排氣系統 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統 DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 阻抗式蒸發源 / 線性蒸發源
充氣系統 MFC或APC自動壓強控制儀
控制系統 PC+PLC
應用
光學薄膜應用 UV/IR截止濾光片、帶通濾光片、RGB濾光片、AR、硬質AR膜、硬質膜、HR膜、AS/AF等
適用波長 300nm~1100nm
注:可客制化(數據僅供參考)

Application cases.

應用案例
15700106413
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