中圖儀器SuperViewW1國產白光干涉儀品牌采用光學非接觸式測量方法實現器件表面形貌的3D測量。具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數齊全等優點，加上其光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結構特點

1.雙通道氣浮隔振系統大幅減小了環境振動的影響，還可以降低高精度量測時的噪聲，提高超光滑表面的測試精度。

2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面，自動智能配置測試參數，使原來麻煩的“找條紋"，“選擇測試參數"過程，在一分鐘之內，自動完成。

3.雙重防撞保護功能，除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，能保護樣品和設備的安全。

軟件功能

(1) 提供多種數據處理方式。

提供校平、鏡像、旋轉等操作調整圖像位置；

提供空間濾波、標準濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數據進行修正；

提供提取區域、提取剖面、抽取輪廓等操作獲取檢測區域。

(2) 提供多種分析工具。

提供距離、臺階高度等要素測量；

提供點、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現強大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質性；

提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、頂點計數、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能，可獲取幅度和相位信息、平均功率譜密度信息、自相關性等；

提供全面的線粗糙度、面粗糙度的參數分析功能；

提供依據四大國內外標準(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數。

(3) 可視化的工作流模式，數據處理器和結果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節點既可以是數據處理選項也可以是分析結果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。

(5) 內置多種分析方案，可對特定表面進行一鍵分析，自動生成一組分析結果，節約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項目組合起來，避免重復操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實時提取表面二維剖面，同步計算更新參數指標，實現對樣品的操作所見即所得。

(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據需要導出分析結果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

薄膜粗糙度測量

超精密加工

SuperViewW1國產白光干涉儀品牌分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至反射率的各類高反表面。