主要特征: 核心零部件全部
三軸均采用高精密天然花崗巖
三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩，導軌受磨損
三軸均采用高精度進口光柵尺
X向采用精密60°三角梁技術，相比矩形梁，重心更低，質量剛性比，運動更加可靠
Y 向采用整體燕尾式導軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩定性
業界的專用PCDMIS BASIC（PREMIUM）手動測量軟件，操作簡單，運行可靠
符合人機工程學的設計
規格型號與技術指標: | 機器型號 | Tango564 | Tango686 | Tango8106 | Tango8126 | | 行程(mm) | X | 500 | 600 | 800 | 800 | | Y | 600 | 800 | 1000 | 1200 | | Z | 400 | 600 | 600 | 600 | | 測量空間(mm) | Dx | 614 | 714 | 914 | 914 | | Dy | 1155 | 1355 | 1555 | 1755 | | Dz | 535 | 735 | 735 | 735 | | Dx1 | 135 | 135 | 135 | 135 | | Dy1 | 105 | 105 | 105 | 105 | | 花崗巖平臺螺紡尺寸(mm) | M1 | 172 | 195 | 270 | 270 | | M2 | 327 | 377 | 427 | 377 | | Mx | 200 | 125 | 150 | 150 | | My | 150 | 150 | 150 | 150 | | 外形尺寸(mm) | L | 1155 | 1355 | 1555 | 1755 | | W | 940 | 1040 | 1240 | 1240 | | H | 2209 | 2609 | 2609 | 2609 | | 承重(Kg) | 300 | 300 | 500 | 500 | | 機器重量(Kg) | 725 | 1030 | 1200 | 1400 | | MPEe(μm) | 3.5+L/300 | | 光柵尺分辨(μm) | 0.4 | | 空氣流量 | 120NL/min | | 供氣壓力 | 0.45MPa | | 溫度 | 20±2℃ | | 濕度 | 45%-75% | | 
