日立SU5000掃描電子顯微鏡在納米技術領域、材料領域、醫學生物等領域均被廣泛使用。但隨著近年來儀器性能的大幅提升，以及用戶群體的不斷擴大，使得用戶對不需要任何經驗和技術就能得到好照片的需求迅速擴增。而且，由于觀察對象的樣品的不斷多樣化，對樣品的大小和性質的無制約觀察變得尤為重要。
這次新開發的"SU5000"對用戶沒有任何操作技巧上的要求，通過"EM Wizard“只要選擇好觀察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人為本的設計理念使電鏡的操作性大幅上升，對于用戶來說，再也不用去討論該用什么條件進行觀察，只要按照觀察目的選擇"表面細節觀察“或是"成分分布“等就可以自動將適合的觀察條件設置好。除此之外，使用經驗豐富的操作人員也可以像往常一樣自由的選擇觀察條件，按照自己的操作習慣進行設置。"EM Wizard“對于初學者或者使用經驗尚淺的客戶來說，它操作簡易性和各種學習工具可以幫助您迅速成長起來；對使用經驗豐富的客戶來
另外"日立SU5000掃描電子顯微鏡"的尋找視野功能"3D MultiFinder"更是優秀的。不但可大幅提高做樣速度，更使視野再現性得到大大提高。并且，為了能適應各種分析的需求，束流可達到200nA。再加上全新設計的背散射電子探頭和低真空二次電子探頭等，都使該款電鏡無論在是觀察樣品還是分析都具備了功能與強大的擴展性。
日立高新在8月3日至8月7日在美國康涅狄格州舉辦的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千葉縣幕張國際展覽中心舉辦的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克舉行的"18th International Microscopy Congress"上都做了實機展出。
肖特基式場發射電子顯微鏡：高亮度、大束流、穩定性匯聚一身肖特基式場發射電子顯微鏡。分辨率高和可做各種定量定性分析。
【主要參數】
| 電子槍 | ZrO/W 肖特基式場發射電子槍 |
| 加速電壓 | 0.5~30kV |
| 著陸電壓 | 0.1~2kV |
| 分辨率 | 2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2） |
| 放大倍率 | 底片倍率：10~600000倍、顯示倍率：18~1000000倍 |
| 5軸馬達臺 | X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° |
*1：減速模式是選配項 *2：低真空模式是選配項
