1. 搭載高輸出超短脈沖雷射(皮秒雷射)來實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)性,藉由超短脈沖雷射(皮秒雷射)加工來實(shí)現(xiàn)熱影響較少的加工。
2. 搭載的高速數(shù)字掃描振鏡,實(shí)現(xiàn)高精度、高生產(chǎn)性,藉由馬達(dá)編碼器與光學(xué)尺來實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性精度。 
3. 可能可以削減去膠渣處理 
4. 圖像處理功能 
5. ASC機(jī)能(同步控制功能)節(jié)省大量加工時(shí)間,可使掃描振鏡與加工平臺(tái)來同歩進(jìn)行高質(zhì)量之連續(xù)加工功能。 





■ 標(biāo)準(zhǔn)功能
■ 選配
■ 掃描振鏡専用CAD/CAM系統(tǒng)
分類 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | 備注 |
---|---|---|---|
加工平臺(tái) | 行程 | 400×400mm | 滾珠螺桿驅(qū)動(dòng) |
加工范圍 | 400×400mm | ||
速度 | 250mm/sec | 15000mm/min | |
Z軸 | 行程 | 150mm | |
速度 | 200mm/sec | 12000mm/min | |
外形 | 設(shè)置空間 | 1500×1500×2200mm | 可用電梯搬送 |
重量 | 搬送 | 1900Kg | |
定位 | 10μ以下 0.05μm | 搭載光學(xué)尺 | |
控制裝置 | 定位(無輪郭指令) | 搭載Pitch誤差補(bǔ)正功能 | |
圖像處理 | 相機(jī)2式 | 加工行程全局檢測(cè) | 200萬畫素、黑白 |
出力監(jiān)視器1 | 檢查雷射輸出 | 于雷射發(fā)振器出口來計(jì)測(cè) |
■ 選配
分類 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | 備注 |
---|---|---|---|
高度檢測(cè)傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測(cè)薄膜材料高度用 | |
觀察監(jiān)視器 | CCD監(jiān)視器 | 檢視加工點(diǎn)周遭 | |
出力監(jiān)視器2 | fΘLens之后的輸出測(cè)定 | 檢測(cè)薄膜材料高度用 | |
集塵裝置 | 2.2KW集塵機(jī) | PushPull方式 | |
自動(dòng)化對(duì)應(yīng) | 個(gè)別對(duì)應(yīng) |
■ 掃描振鏡専用CAD/CAM系統(tǒng)
分類 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 | 備注 |
---|---|---|---|
高度檢測(cè)傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測(cè)薄膜材料高度用 | |
觀察監(jiān)視器 | CCD監(jiān)視器 | 檢視加工點(diǎn)周遭 |
? 金屬細(xì)微加工 Precise Cutting of metal

? SiC 雕刻加工 SiC engraving

? 陶瓷生胚切斷 LTCC green sheet cutting

? ITO膜剝離
? Au膜剝離
? 銅膜剝離及極小孔鉆孔

? SiC 雕刻加工 SiC engraving

? 陶瓷生胚切斷 LTCC green sheet cutting

? ITO膜剝離
? Au膜剝離
? 銅膜剝離及極小孔鉆孔