Park Systems推出革命性的NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測量而設(shè)計。借助的XY軸和Z軸獨立掃描系統(tǒng)和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側(cè)壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰(zhàn)。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可實現(xiàn)帶有高長寬比的柔軟光刻膠的無損測量。
納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領(lǐng)域擴(kuò)展到實際生產(chǎn)應(yīng)用中。面對這一成本挑戰(zhàn)，Park Systems帶來了工業(yè)級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉(zhuǎn)而采用高效、自動化且價格實惠的3D原子力顯微鏡，進(jìn)一步降低線上工業(yè)制造的測量成本。現(xiàn)如今，制造商需要3D信息來表現(xiàn)溝槽輪廓和側(cè)壁變形異特征，從而準(zhǔn)確找到新設(shè)計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實現(xiàn)了快速的軟硬件更換，使得升級更為劃算，從而不斷優(yōu)化復(fù)雜并且苛刻的生產(chǎn)質(zhì)量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進(jìn)一步減少購置成本。傳統(tǒng)的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact™模式能夠有效地保護(hù)探針，延長其使用壽命。
基本技術(shù)
200 mm電動XY平臺 | 300 mm電動XY平臺 | 電動Z平臺 |
行程可達(dá)275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率 | 行程可達(dá)400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率 小于1μm的重現(xiàn)性 | 27 mm Z行程距離 0.08μm 分辨率小于1μm |
Z掃描范圍 | Z掃描噪音 | Z向探針噪音 |
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm | 小于0.05nm | 0.02 nm |
200mm 系統(tǒng) | 300mm 系統(tǒng) | 設(shè)備需求環(huán)境 |
1500mm x980mm x 2050 mm 大約1020kg | 1840mm x 1170 mm x2050 mm 大約 2950 kg | 室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60% |
主要功能
一種創(chuàng)新的3D測量方法
側(cè)切和外伸輪廓；臨界尺寸；側(cè)壁粗糙度測量
工業(yè)界的噪音
靜電消除系統(tǒng)確保穩(wěn)定的掃描環(huán)境
自動測量控制，提高效率
應(yīng)用
臨界尺寸和側(cè)壁測量
A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線
