Park Systems推出革命性的NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統，專為垂懸輪廓、高分辨率側壁成像和臨界角的測量而設計。借助的XY軸和Z軸獨立掃描系統和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可實現帶有高長寬比的柔軟光刻膠的無損測量。
納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領域擴展到實際生產應用中。面對這一成本挑戰，Park Systems帶來了工業級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉而采用高效、自動化且價格實惠的3D原子力顯微鏡，進一步降低線上工業制造的測量成本。現如今，制造商需要3D信息來表現溝槽輪廓和側壁變形異特征，從而準確找到新設計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實現了快速的軟硬件更換，使得升級更為劃算，從而不斷優化復雜并且苛刻的生產質量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進一步減少購置成本。傳統的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact™模式能夠有效地保護探針，延長其使用壽命。
基本技術
200 mm電動XY平臺 | 300 mm電動XY平臺 | 電動Z平臺 |
行程可達275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率 | 行程可達400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率 小于1μm的重現性 | 27 mm Z行程距離 0.08μm 分辨率小于1μm |
Z掃描范圍 | Z掃描噪音 | Z向探針噪音 |
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm | 小于0.05nm | 0.02 nm |
200mm 系統 | 300mm 系統 | 設備需求環境 |
1500mm x980mm x 2050 mm 大約1020kg | 1840mm x 1170 mm x2050 mm 大約 2950 kg | 室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60% |
主要功能
一種創新的3D測量方法
側切和外伸輪廓；臨界尺寸；側壁粗糙度測量
工業界的噪音
靜電消除系統確保穩定的掃描環境
自動測量控制，提高效率
應用
臨界尺寸和側壁測量
A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線
