
產品介紹
主要功能:
♦ 機械直線度,平面度檢測;♦ 光學元件角度、側垂,平行度的測量;
♦ 裝配定位及監測:
晶元封裝定位;
透鏡偏移和傾斜監測;
多個光學平面裝配平行度測量
♦ 振動或旋轉穩定性監測
電子馬達移動或旋轉穩定性的檢測
主要技術指標: | 設備主件: | |
激光波長 | 紅光(或藍綠光) | •激光自準直儀 •測量軟件(可測量多個成像點) •二維調節臺 •測量臺座和立桿 •LD光源驅動器 |
測量范圍 | ±1° | |
分辨率 | 0.1" | |
測量精度 | ≤5" | |
可選光闌孔徑 | Φ1,2,3,4,6mm | |
可測距離 | 0~300mm |