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等離子水洗Local Scrubber設備，用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
LOCAL SCRUBBER工作原理
通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進入等離子體反應器，在正負極qiang電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間產生巨大的火焰，產生的高溫火焰將廢氣分解。
LOCAL SCRUBBER設備優勢
1、去除效率高，不需要燃料和熱源，耗能低；
2、處理高沸點廢氣，應用范圍廣；
3、高溫、反應速度快；
4、設備占地面積小、便于安裝。
本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型，兩電極區域不參與反應，只產生等離子體，產生的火焰溫度可達3000度以上。
等離子反應器的MTBF大于1年，反應室內腔的材質耐熱和耐腐，具有四個進氣口，裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區，對PFC溫室氣體的去除效率>90%。
LOCAL SCRUBBER性能參數
除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm MTBF >6months; MTTR<1.5hr cpvc="">1year 尺寸（mm） 800*800*1850 進氣口 NW50*4 耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% 水量<4slm
LOCAL SCRUBBER生產廠家
格林斯達環保集團，工藝廢氣治理系統解決方案提供商，提供廢氣治理一站式服務（方案規劃設計、設備生產及安裝、系統運行調試、智慧運維）。如您有Local Scrubber采購需求，即刻聯系我們吧！
