▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介紹
Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關系，而且與氣體成分無關。電氣連接件可以是工業(yè)標準15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術(shù)，Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個完整的滑面，很容易提供有精確的零點調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra 技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎上發(fā)展來的。在敏感元件有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra 的集成電路檢測并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號，該集成電路是根據(jù)西特技術(shù)負荷平衡原理設計的。Model 760 采用革新的傳感設計獲得了的零點穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計。
注：Setra 堅持嚴格的質(zhì)量標準ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標定源于NIST。
應用
● 半導體過程工具和裝置
● 實驗室和研究開發(fā)
● 實驗和測量
● 度量
● 分析化學系統(tǒng)
特點
■ 的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標準
性能參數(shù) 物理參數(shù) 電氣電壓(電壓) 精度A ±0.25%of Reading 殼體 鋁合金 電路 4線 精度B ±0.15%of Reading 電氣連接 15針D型插座或 6位螺紋接線端子 激勵 ±15VDC,調(diào)整范圍5% 輸出2 0～10VDC或0～5VDC 溫度影響 壓力接頭 見訂購信息 功耗 ﹤0.5w(﹤15mA) 補償范圍 0～+50℃(+32～+122℉) 腔體體積 ﹤6cm3 零點偏移 ±0.005%FS/℃ 零點/滿量程調(diào)節(jié) 多匝點位計 (在畫面底部) 壓力介質(zhì) 與Inconel或InconeV不銹鋼相容的氣體。Inconel濕部件僅配0.5管的節(jié)頭,選擇其他的 接頭增加不銹鋼. 滿程偏移 ±0.02 重量 260克(約9盎司) 分辨率 無限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS) 環(huán)境參數(shù) 溫度 1. 工作溫度的限制僅對電子元件而言,壓力介質(zhì)溫度可以更高或更低. 2. 采用50K的負載進行標定,可接10000或更大的負載。 耐壓 45psia 工作溫度1 0～+50℃ 時間常數(shù) ﹤20ms 儲存溫度 -50～+125℃
