產(chǎn)品名稱: 等離子監(jiān)視器
型號(hào): Z5PM系列
監(jiān)測(cè)2波長(zhǎng)的等離子發(fā)光量。
實(shí)現(xiàn)了、小型化、低價(jià)格。
輕松實(shí)現(xiàn)蝕刻和清潔的端點(diǎn)的監(jiān)測(cè)。
輕公地進(jìn)行蝕刻、清潔的等離子發(fā)光的監(jiān)測(cè)。
通過用過濾方式檢測(cè)2波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)小型化、低價(jià)格。
E3F3-R87M檢測(cè)方式：回歸反射型，
導(dǎo)線引出式：M12 CN，
類型：金屬外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內(nèi)置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性種類：交流2線式，屏蔽型歐姆龍Z5PM系列。
形狀：M18。
檢測(cè)距離：5mm。
連接方式：M12 接插件型Z5PM系列
導(dǎo)線規(guī)格：-。
動(dòng)作模式NC。
接近傳感器的的性能和品質(zhì)。
磁性金屬有無檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)型。
品種豐富。
可根據(jù)條件選擇適用機(jī)型。
防相互干擾功能的異頻機(jī)型品種齊全。
具有優(yōu)異的耐環(huán)境性能。
標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線的材質(zhì)為耐油PVC歐姆龍Z5PM系列。
檢測(cè)面采用耐切削油材質(zhì)。
標(biāo)準(zhǔn)采用導(dǎo)線護(hù)套。惡劣環(huán)境下也不易損壞的接近傳感器。
全不銹鋼機(jī)架。
耐鋁碎屑。
可嵌入安裝至金屬（鐵）中。
由歐洲Ecolab公司認(rèn)證的耐化學(xué)藥品性。
備有導(dǎo)線引出型、直流3線NPN輸出、氟樹脂涂層型。E3Z-D61檢測(cè)方式:擴(kuò)散反射型。
連接方式:導(dǎo)線引出式（2m）3、4歐姆龍Z5PM系列。
檢測(cè)距離:5m -100mm (廣視野）。
輸出方式：NPN輸出。
實(shí)現(xiàn)小型、長(zhǎng)距離、節(jié)省電力和
節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
E3ZM-LS89H檢測(cè)形式：BGS反射型，
連接方式：連接器型（M8·4極） 4，
輸出方式：PNP輸出，
不銹鋼外殼E3F3-D31 檢測(cè)方式：擴(kuò)散反射型，
導(dǎo)線引出式：導(dǎo)線引出式，
類型：塑料外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內(nèi)置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性該放大器分離式接近傳感器可輕松調(diào)整靈敏度以檢測(cè)非磁性金屬歐姆龍等離子監(jiān)視器。
檢測(cè)非磁性金屬（鋁、銅等）。
還備有小型扁平型傳感頭(E2CY-V3A)、耐藥品用氟樹脂型 (E2CY-C2AF)歐姆龍等離子監(jiān)視器。
可以輕松調(diào)整靈敏度（單觸示教）。
數(shù)值化的檢測(cè)狀態(tài)一目了然（數(shù)字顯示）。
名稱：傳感器。
形狀：屏蔽，φ5.4。
穩(wěn)定檢測(cè)距離：1.5mm歐姆龍等離子監(jiān)視器。晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無）。實(shí)現(xiàn)小型、長(zhǎng)距離、節(jié)省電力和節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
檢測(cè)距離/對(duì)對(duì)射型15m、回歸反射型4m、擴(kuò)散反射型1mZ5PM系列。
的防止外部亂光計(jì)算方法，變頻熒熒光燈下也能工作歐姆龍Z5PM系列。
1、大限度降低電力消耗和含鉛材質(zhì)的使用。
2、IP67保護(hù)構(gòu)造，防止相互干擾功能， EN規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。防油型為IP67f。
3、光軸與機(jī)械軸的偏差控制在正負(fù)2.5°以內(nèi)，光軸對(duì)合更容易。
導(dǎo)線引出式：M12 CN，
類型：金屬外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內(nèi)置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性種類：交流2線式，屏蔽型歐姆龍Z5PM系列。
形狀：M18。
檢測(cè)距離：5mm。
連接方式：M12 接插件型Z5PM系列
導(dǎo)線規(guī)格：-。
動(dòng)作模式NC。
接近傳感器的的性能和品質(zhì)。
磁性金屬有無檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)型。
品種豐富。
可根據(jù)條件選擇適用機(jī)型。
防相互干擾功能的異頻機(jī)型品種齊全。
具有優(yōu)異的耐環(huán)境性能。
標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線的材質(zhì)為耐油PVC歐姆龍Z5PM系列。
檢測(cè)面采用耐切削油材質(zhì)。
標(biāo)準(zhǔn)采用導(dǎo)線護(hù)套。惡劣環(huán)境下也不易損壞的接近傳感器。
全不銹鋼機(jī)架。
耐鋁碎屑。
可嵌入安裝至金屬（鐵）中。
由歐洲Ecolab公司認(rèn)證的耐化學(xué)藥品性。
備有導(dǎo)線引出型、直流3線NPN輸出、氟樹脂涂層型。E3Z-D61檢測(cè)方式:擴(kuò)散反射型。
連接方式:導(dǎo)線引出式（2m）3、4歐姆龍Z5PM系列。
檢測(cè)距離:5m -100mm (廣視野）。
輸出方式：NPN輸出。
實(shí)現(xiàn)小型、長(zhǎng)距離、節(jié)省電力和
節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
E3ZM-LS89H檢測(cè)形式：BGS反射型，
連接方式：連接器型（M8·4極） 4，
輸出方式：PNP輸出，
不銹鋼外殼E3F3-D31 檢測(cè)方式：擴(kuò)散反射型，
導(dǎo)線引出式：導(dǎo)線引出式，
類型：塑料外表；PNP輸出，
螺紋柱狀光電傳感器，放大器內(nèi)置，
具備接近傳感器外觀的光電傳感器
具有光電-IC技術(shù)的高抗干擾性該放大器分離式接近傳感器可輕松調(diào)整靈敏度以檢測(cè)非磁性金屬歐姆龍等離子監(jiān)視器。
檢測(cè)非磁性金屬（鋁、銅等）。
還備有小型扁平型傳感頭(E2CY-V3A)、耐藥品用氟樹脂型 (E2CY-C2AF)歐姆龍等離子監(jiān)視器。
可以輕松調(diào)整靈敏度（單觸示教）。
數(shù)值化的檢測(cè)狀態(tài)一目了然（數(shù)字顯示）。
名稱：傳感器。
形狀：屏蔽，φ5.4。
穩(wěn)定檢測(cè)距離：1.5mm歐姆龍等離子監(jiān)視器。晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無）。實(shí)現(xiàn)小型、長(zhǎng)距離、節(jié)省電力和節(jié)省能源的光電傳感器的標(biāo)準(zhǔn)型
檢測(cè)距離/對(duì)對(duì)射型15m、回歸反射型4m、擴(kuò)散反射型1mZ5PM系列。
的防止外部亂光計(jì)算方法，變頻熒熒光燈下也能工作歐姆龍Z5PM系列。
1、大限度降低電力消耗和含鉛材質(zhì)的使用。
2、IP67保護(hù)構(gòu)造，防止相互干擾功能， EN規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。防油型為IP67f。
3、光軸與機(jī)械軸的偏差控制在正負(fù)2.5°以內(nèi)，光軸對(duì)合更容易。
