真空微型光柵尺SMG26特點(diǎn)，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于超高真空使用，良好的耐高溫性，可達(dá)
100℃，SMG26系列光柵的柵距為256μm，下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值，精度高，
精度±3μm（20℃），采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良好。分辨率高，配合TF15細(xì)分
接頭，讀數(shù)分辨率可達(dá)1nm。安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。
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