日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light
活躍于各種光刻環境。
光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的國產高亮度LED。維護工程師和工藝工程師可以放心使用。高效的驅動電路設計，實現了與白光LED同等的功耗水平。采用變焦機構，投光區域可通過操作調節環從寬到窄自由調節。
特征
光源使用不具有抗蝕劑敏感波長范圍的黃色LED。
采用高亮度、高效率的驅動電路。實現與白色 LED 相同的省電水平。
平衡合身性和便攜性的設計。隨附一條帶子以確保牢固固定。
SEBAPRO Light（光刻和維護用燈）
一種高強度黃光，非常適合在高級曝光機和涂布機/顯影設備等光刻環境中工作。它消除了暴露在白光下的風險，并顯著提高了可加工性。
最新型號為充電規范Rev2。
SEBAPRO Light Surface（用于檢查不均勻涂層的光）
便于現場檢查涂層不均勻性的手持燈。使現場決策更快，大大改善了過程評估和設備條件設置工作。
后繼車型于 2021 年 4 月發布。
發射光譜
日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light
