不同的廢氣排放場合和不同的廢氣，有不同的工藝流程。但是無論采取哪種工藝流程，都由如下工藝單元組成：

1、廢氣預處理裝置

廢氣在進入反應之前必須進行預處理，這樣做是為了避免催化劑床層的堵塞和催化劑中毒，除去廢氣中的粉塵、液滴以及催化劑的毒物。  

2、催化燃燒預熱裝置

預熱裝置包括廢氣預熱裝置和催化劑燃燒器預熱裝置。這樣做是因為催化有催化活性溫度，必須使廢氣和床層溫度達到起燃溫度才能進行催化燃燒，所以預熱裝置是必須要存在的。但是對于廢氣本身就比較高的氣體是不需要預熱裝置的。如漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可以達到300℃以上，則不必設置預熱裝置。在反應熱能較大的場合，還需要設有熱能回收裝置，節約能源，二次利用。預熱廢氣的熱源溫度一般都超過催化劑的活性溫度。為保護催化劑，加熱裝置應與催化燃燒裝置保持一定距離，這樣還能使廢氣溫度分布均勻。  從需要預熱這一點出發，催化燃燒法于連續排氣的凈化，若間歇排氣，不僅每次預熱需要耗能，反應熱也無法回收利用，會造成很大的能源浪費，在設計和選擇時應注意這一點。 

3、催化燃燒核心系統

一般采用固定床催化反應器。反應器的設計按規范進行，應便于操作，維修方便，便于裝卸催化劑。