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廣電計量檢測集團股份有限公司

LH1000雙頻激光干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京鐳測科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/3/3 13:24:40
  • 訪問次數483
產品標簽:

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北京鐳測科技有限公司(簡稱“鐳測科技”),初建時的技術來自清華大學,現在擁有多項獨立的知識產權,主要產品是高精度激光測量儀器、設備,并為客戶提供技術方案。 鐳測科技生產的高精度測量儀器有:雙折射雙頻激光干涉儀,非接觸激光回饋干涉儀,光學元件-建材玻璃內應力(及相位延遲)測量儀,激光納米測尺等產品,滿足機械制造、微電子、光學加工等行業的高精度測量要求。產品質量,交貨,售后服務受到廣泛好評。 鐳測科技是優質的激光精密測量系統和方案供應商,致力于提供的精密檢測設備和測量方案,幫助用戶提高制造能力和前沿科研水平。 鐳測科技是少有的能批量生產雙頻激光器的公司之一,同時也是一家能生產大頻差、高功率、直接輸出正交線偏振光雙頻激光器的公司。 鐳測科技生產的雙頻激光器直接輸出線偏振光,沒有圓偏振光轉換為線偏振光環節的非線性誤差,精度更高,產品獲2007年國家技術發明二等獎(證書號2007-F-219-2-01-R01)。 鐳測科技是少有的集激光基礎技術研究、激光基礎器件研發和激光應用系統開發的高科技企業,數十年的不懈努力,取得豐碩成果,已取得系列權,獲國家技術發明獎二等獎兩項。 鐳測科技開發生產的可溯源到自然基準的波片相位延遲測量儀是檢測機構、實驗室標定檢測設備,其檢測校準方法作為國家標準被頒布執行。 企業宗旨 鐳測科技設計、制造和供應可靠、可溯源和質量的計量檢測系統,以使用戶能實現計量標準的精準幾何尺寸測量。 我們的目標是不斷創新,提供前沿技術和產品,以滿足客戶的要求。協助您改善機器性能,滿足加工設計要求和指標。幫助您改善生產過程控制、減少瑕疵和返工、降低浪費和生產運行成本。 我們提供的產品會提高您的產品質量和生產效率,增強您的競爭力,使您在越來越激烈的競爭中獲得更多的客戶和定單。 鐳測科技希望成為的者和社會的貢獻者,以有責任感、專業、關愛、開放和誠實的方式實現我們的目標。 鐳測將通過優質的服務讓全體用戶滿意。
光刻機專用雙頻激光干涉儀可構建XY位移臺等多軸測量系統采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差大功率可同時測量更多數量的軸向位移大頻差,測量速度更快
LH1000雙頻激光干涉儀 產品信息

專為光刻機配套開發的高精度測量系統;

通過國家重大專項“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

非線性高精密測量系統,測量更精準;

可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統;

精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。



型號

頻差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

穩頻精度(ppm)

LH1000A

1.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.0±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.0±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.0±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:可根據需求定制更小頻差范圍。

微信截圖_20210616121113.png


懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

圖片1.jpg


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