FEI Quattro ESEM 掃描電子顯微鏡

Quattro E型掃描電鏡現在為現代材料科學研究提供了更大的靈活性，滿足了對結構特性，元素分布以及材料在自然狀態下的動態變化的更大可見性的需求。用于檢測，自動化和樣品加熱的新配件使研究人員能夠從更多樣品和更多條件中獲得更多數據。

Thermo Scientific™Quattro環境掃描電子顯微鏡（ESEM）是一款多功能，高性能儀器，配有場發射槍（FEG），具有特色的分辨率和射束電流穩定性。

三種真空模式（高真空，低真空和ESEM）可靈活地適應任何可用SEM的廣泛樣品，包括除氣或不與真空兼容的樣品。Quattro供多種探測器，包括定向反向散射信息，STEM和發光，可調諧和真實色彩對比。所有Quattro ESEM系統都可以配備分析功能，例如能量色散x射線光譜（EDS），波長色散x射線光譜（WDS）和與EDS共面的電子背散射衍射（EBSD）。

Quattro的架構由輔助功能（用戶南）提供支持，該功能不僅可以指示，還可以直接與顯微鏡進行交互。Quattro支持撤消/重做功能，掃描預設，列預設，簡易的基于攝像頭的導航，SmartSCAN™和漂移補償幀集成（DCFI），以提高生產力，數據質量和易用性。

多功能分辨率SEM，具有的環保能力

Thermo Scientific™Quattro ESEM將成像和分析方位性能與的環境模式（ESEM™）相結合，可以在自然狀態下研究樣品。它是各種學術，工業和政府實驗室的理想選擇，這些實驗室希望在支持原位實驗的平臺上為不同經驗水平和學科的多個用戶提供所需的多功能性和易用性。Quattro的場發射槍（FEG）可確保特色的分辨率，同時其三種真空模式（高真空，低真空和ESEM）可靈活地適勻魏蜸EM樣品的廣泛樣品，包括放氣或不真空的樣品-兼容。

高性能的多功能性

Quattro ESEM是分析平臺，因為它的腔室可以配備一系列配件。分析能力包括能量色散X射線光譜（EDS），具有180度雙EDS附著的端口，與EDS共面的電子背散射衍射（EBSD）和波長色散X射線光譜（WDS）。

Quattro ESEM支持可選的高真空加熱階段，AutoScript，基于Python的腳本工具和新的RGB發光（CL）探測器。RGB CL檢測器產生彩色圖像，突出顯示使用傳統電子或X射線成像技術不可見的樣品特性。高真空加熱階段可在高溫下進行清潔的樣品觀察。使用AutoScript，用戶可以對成像和舞臺移動進行編程，以實現無人值守的數據采集。

動態原位實驗

Quattro的多功能性使其非常適合材料科學的廣泛主題<它同樣擅長于執行傳統的高分辨率SEM成像/分析和動態原位實驗。它允許研究人員研究自然狀態下廣泛的樣品，以獲得有關結構和組成的準確信息。

的環境模式

Quattro的環境SEM（ESEM）功能使科學家能夠在各種條件下研究材料，例如濕/濕，熱或反應環境，因為他們為無數學科開發新材料和產品，包括建筑，汽車，包裝，涂料和能源。Quattro研究化學反應進程的能力，如氧化，腐蝕，蝕刻，晶體生長和催化，可對科學和環境產生重大影響。

典型應用包括：

1、納米表征：

– 金屬和合金，裂縫，焊縫，拋光部分，磁性和超導材料

-陶瓷，復合材料，塑料

-薄膜，涂層

-地質剖面，礦物

-軟材料：聚合物，藥品，過濾器，凝膠，組織，植物材料

-顆粒，多孔材料，纖維

2、原位表征：

-結晶/相變

-氧化，催化

-物質增長

-水合/脫水/潤濕/接觸角分析

-拉伸（加熱或冷卻）

技術參數

1、電子光學：

1）發射源：高分辨肖特基場發射電子槍。

2）加速電壓：200V – 30kV。

3）放大倍數：6× – 2,500,000×。

4）電鏡內設計有壓差真空系統，保護低真空/環境真空下電子槍，延長壽命。

5）大的電子束束流：1pA -200nA連續可調，保證能譜工作。

2、真空系統：

1）1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵+2個離子泵

2）集成的離子泵備用電池（用于意外斷電保護）

3）高真空模式：＜6×10-4 Pa （測試導電樣品或噴金處理樣品）

4）低真空模式：10 – 200 Pa （直接測試不導電樣品）

5）環境真空模式：10 – 4000 Pa （測試含水分樣品）

6）高真空模式下的換樣時間：≤3.5min

7） 環境真空模式下的換樣時間：≤4.5min

3、電子束分辨率：

A：高真空模式下成像

1）高真空分辨率30 kV下1.0 nm (SE二次電子)

2）高真空分辨率30 kV下2.5 nm (BSE背散射電子)

3）高真空分辨率1 kV下3.0 nm (SE二次電子)

B：低真空模式下成像

4）低真空分辨率30 kV下1.3 nm (SE二次電子)

5）低真空分辨率30 kV下2.5 nm (BSE背散射電子)

6）低真空分辨率3 kV下3.0 nm (BSE背散射電子)

C：環境模式下成像

7）環境真空分辨率30 kV下1.3 nm (SE二次電子)

4、樣品室：

1）樣品室內寬：340mm

2）分析工作距離：10 mm

3）樣品室紅外CCD相機：1個

4）可升級12個探測器或附件接口

5、樣品臺：

1）樣品臺類型：五軸全自動U中.心對中樣品臺，同時保留五軸手動功能

2）行程：X：110 mm，Y：110 mm ，Z：65 mm，

3）旋轉R=n×360°，傾斜T=-15°/+90°

4）多功能樣品臺，存放標準樣品臺 (?12 mm)平面18個，斜面3個，同時提供2個斷面夾具

5）樣品高度≥85mm