型號:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL
產品概述:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含等離子射頻電源,80mm OD1600mm L的滑動式雙溫區管式爐,4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,可用于生長納米或石墨烯材料。
設備名稱 | 滑動式雙溫區PECVD系統——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL (2019.12.23—科晶實驗室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品特點 | ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度; ? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻; ? 兩個加熱區,溫度梯度可達 200oC; ? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數 | ? 溫度:1200oC(<30min),連續工作溫度:1100℃; ? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統; ? 輸入功率:208-240V,單相,功率:2.5KW; ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗; ? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。
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真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出; ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品尺寸和重量 | ? 設備總體尺寸:2200mm L′800mm W′1500mm H ? 凈重:610kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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承諾 | ? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |