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AE質量流量控制器

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市利方達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號7700 7800
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/2/23 17:23:58
  • 訪問次數208
產品標簽:

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深圳市利方達科技有限公司由留德博士錢鋒創建于2002年,是一家集真空產品研發,生產及貿易以及維修服務為一體的企業集團 ,公司目前集中了一批多年從事真空和真空鍍膜專業的技術人員和經驗豐富的市場銷售人員,力致于為客戶提供更優質的產品與服務。 主要業務包括代理銷售國外產品:美國英福康(Inficon)的石英晶體膜厚控制儀,氦質譜檢漏儀,四極質譜殘余氣體分析儀,各種真空計,真空閥門; 美國Brooks的低溫泵,真空計;日本日立公司的質量流量計(原美國AE公司的FC7700CD系列流量計),日本Horiba的質量流量計,美國安捷倫Agilent(原瓦里安)公司的英國愛德華公司分子泵,機械泵,干泵,真空計,檢漏儀,各種真空閥門和檢漏系統; 美國泰利瑪科公司(Telemark)的電子槍和光學膜厚控制儀等;美國安斯超科學公司(Angstrom)的磁控濺射陰極,濺射靶材;美國薄膜中心 (Thin film center)的核心麥克勞德(Essential Macleod)光學薄膜分析與設計的軟件,美國Extorr公司的四極質譜等產品。 
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AE質量流量控制器 產品信息

美國AE公司 質量流量計(FC-7700系列)

優點:高性價比

響應速度快:小于2

的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%

易于集成:標準接頭和尺寸

出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性

 

特性

非金屬密封

VCR連接

量程范圍從10SCCM150SLM

常閉或常開式電磁閥

允許清洗流量:高達校準值的100

漏率1×10-6 atm-cc/()

 

型號參數:

類別

FC-77007700C7700CD7700CU

FC-77107710C7710CD7710CU

FC-77207720C7720CD

滿量程范圍

10sccm5slm

620slm

35150slm

2050slm

響應時間

到達設定點±2%所需時間<2

到達設定點±2%所需時間<3

精度

滿量程±1%范圍內

滿量程±2%范圍內

線性度

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±0.5%范圍內

滿量程±1%范圍內

滿量程±1%范圍內

重復精度

滿量程±0.2%范圍內

漏率

1×10-6 atm-cc/()

控制范圍

滿量程的599%

壓差

740 psi

1040 psi(5172069)

2140 psi(10862069)

(3622069)

1440 psi(7242069)

正常工作壓力

50 psi(2586)

入口壓力

150 psi(7740)

溫度范圍

545

 

注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列。


15700106413
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