- 產(chǎn)品型號(hào)：VT6000
- 產(chǎn)品名稱：共聚焦顯微鏡
視場(chǎng)范圍：160×160μm～1.6×1.6mm
掃描幀率：≥10HZ
高度測(cè)量精度：±(0.2+L/100)μm
寬度測(cè)量精度：±2%
XY移動(dòng)范圍：100×100mm
Z向移動(dòng)范圍：100mm
主要特點(diǎn)：高速并行掃描，高精度、高重復(fù)性
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合多孔盤并行掃描技術(shù)、精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
應(yīng)用：
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡
精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭
標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
專注于工業(yè)自動(dòng)化、智能制造、法定計(jì)量領(lǐng)域各類精密測(cè)量/計(jì)量?jī)x器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，自營(yíng)產(chǎn)品目前主要有影像測(cè)量?jī)x、顯微鏡、客制非標(biāo)光學(xué)測(cè)量?jī)x器等產(chǎn)品；同時(shí)經(jīng)銷多款國(guó)內(nèi)外品牌之精密測(cè)量?jī)x器；公司總部設(shè)在深圳，在東北地區(qū)、西南地區(qū)設(shè)有分公司或服務(wù)機(jī)構(gòu)貼近客戶，具備完善的銷售服務(wù)體系。企業(yè)使命：為提升中國(guó)制造業(yè)水平，縮小與國(guó)外制造業(yè)強(qiáng)國(guó)之差距持續(xù)努力，砥礪前行。我們圍繞客戶之需求，與眾多國(guó)內(nèi)外各領(lǐng)域公司合作，在幾何量尺寸檢測(cè)、精密光學(xué)檢測(cè)、材料分析、力學(xué)性能測(cè)試、壓力測(cè)試、機(jī)械加工技術(shù)、增材制造技術(shù)等領(lǐng)域?yàn)楦餍袠I(yè)的客戶提供最合適的產(chǎn)品解決方案和技術(shù)服務(wù)。 中頤順科技座落于技術(shù)與思維創(chuàng)新的前沿高地-深圳市，公司立足于專業(yè)知識(shí)和豐富行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，不斷銳意進(jìn)取，緊跟相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展動(dòng)態(tài)，不斷迭代提升公司的技術(shù)、產(chǎn)品與服務(wù)，及時(shí)提供給廣大客戶的技術(shù)和產(chǎn)品訊息，力求幫助每一位客戶持續(xù)提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，為客戶創(chuàng)造價(jià)值。
Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡 產(chǎn)品信息
