氮化硅材料的應用跟氮化硅原料有很多的關系，下面簡單分析一下。
由于氮化硅與碳化硅、氧化鋁、二氧化釷、氮化硼等能形成很強的結合，所以可用作結合材料，以不同配比進行改性。
此外，氮化硅還能應用到太陽能電池中。用PECVD法鍍氮化硅膜后，不但能作為減反射膜可減小入射光的反射，而且，在氮化硅薄膜的沉積過程中，反應產(chǎn)物氫原子進入氮化硅薄膜以及硅片內，起到了鈍化缺陷的作用。這里的氮化硅氮硅原子數(shù)目比并不是嚴格的4：3，而是根據(jù)工藝條件的不同而在一定范圍內波動，不同的原子比例對應的薄膜的物理性質有所不同。
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