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半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)：半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣通過(guò)分類密閉收集處理，有酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、有毒有害廢氣、一般尾氣等。不同類型的廢氣所選用的半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備有所不同。處理系統(tǒng)有機(jī)臺(tái)端的POU本地處理和廠務(wù)端（Fab）中yang處理系統(tǒng)；如熱氧化、CVD、干法刻蝕、離子注入等工藝制程中會(huì)產(chǎn)生特性氣體（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烴、含鹵素氣體等有毒和高沸點(diǎn)廢氣），先經(jīng)本地Local Scrubber預(yù)處理，后經(jīng)入廠務(wù)端的中yang處理系統(tǒng)集中處理。 中yang處理系統(tǒng)集中處理有酸性廢氣處理系統(tǒng)（SEX）、堿性廢氣處理系統(tǒng)（AEX）、有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)（VEX）、砷排處理系統(tǒng)（ASX）、一般排氣系統(tǒng)（GEX）等，其中一般排氣系統(tǒng)所排廢氣無(wú)污染，起排風(fēng)散熱作用。

LOCAL SCRUBBER 半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備

Local Scrubber預(yù)處理可避免從排氣過(guò)程中引發(fā)風(fēng)管堵塞、管路腐蝕、局部聚積或氣體相互反應(yīng)，導(dǎo)致氣體泄漏、火災(zāi)爆炸等事故。 Local Scrubber的處理方法有燃燒水洗、高溫水洗、等離子水洗、干法吸附等。經(jīng)Local Scrubber處理后的廢氣主要為氟化物、氯hua氫、氯氣等，進(jìn)入廠務(wù)端酸性廢氣系統(tǒng)集中處理。

（格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) Local Scrubber 預(yù)處理設(shè)備）

半導(dǎo)體酸性/堿性廢氣處理設(shè)備

半導(dǎo)體行業(yè)酸性廢氣來(lái)源于清洗、濺射、濕法刻蝕、濕法去膠和經(jīng)Local Scrubber處理后的工藝廢氣，其主要組成為HF、HCl、Cl2、H2SO4、SO2等；堿性廢氣主要來(lái)源于清洗、濕法刻蝕、光刻顯影、去膠、CMP等工藝，污染物為NH3、NaOH等。堿性廢氣處理工藝也采用噴淋洗滌處理，常用吸收液為H2SO4溶液。

（格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 立式洗滌塔）

酸性/堿性廢氣洗滌塔分為臥室和立式兩種結(jié)構(gòu)，臥式洗滌塔一般適用對(duì)高度有限制的場(chǎng)地，而立式洗滌塔用于廠地面積有限但高度無(wú)限的項(xiàng)目上，其處理效率不受影響都可達(dá)98%。

（格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 臥式洗滌塔）

酸性/堿性洗滌塔采用pH值、液位值和電導(dǎo)值控制水箱中堿液的加入和補(bǔ)/排水的循環(huán)，通過(guò)測(cè)量液位控制補(bǔ)水，電導(dǎo)率控制排水；pH值控制堿液的加入。整個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制，免除人工加藥及檢測(cè)過(guò)程，操作方便，易于檢修。

半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理設(shè)備

半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣主要來(lái)源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴(kuò)散等工藝；有機(jī)廢氣種類主要包括異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、重芳烴等。因半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣具有風(fēng)量大，濃度低的特點(diǎn)，其風(fēng)量通常大于11000m3/h，濃度大約在50~1000mg/m3之間（以非甲烷總烴計(jì)）所以常用的半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理技術(shù)即沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+直接燃燒（TO），效率可達(dá)≥95%。

（格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 沸石轉(zhuǎn)輪+高溫氧化爐TO）

半導(dǎo)體有毒廢氣處理設(shè)備

含砷有毒有毒廢氣來(lái)源摻雜制程工序，包括砷烷、磷烷和硼wan。目前，隨著國(guó)家及各地區(qū)環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)越來(lái)越嚴(yán)格，在含砷系統(tǒng)Local Scrubber預(yù)處理后在Fab 中yang端再次進(jìn)行干式吸附，常用設(shè)備為砷磷烷吸附塔，吸附后通過(guò)末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放。 砷烷等與吸附劑發(fā)生化學(xué)吸附、復(fù)分解等反應(yīng)，生成穩(wěn)定的無(wú)毒無(wú)害的化合物，吸附劑是砷排系統(tǒng)的關(guān)鍵之重。

（格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán) 砷磷烷吸附塔）

格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)，泛半導(dǎo)體工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案提供商，提供廢氣治理一站式服務(wù)（方案規(guī)劃設(shè)計(jì)、設(shè)備生產(chǎn)及安裝、系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)試、智慧運(yùn)維）。如您有半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理系統(tǒng)、半導(dǎo)體廢氣處理需求，即刻聯(lián)系我們吧！