產品簡介：混氣系統3路質子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經真空密封的管式爐，這種氣體控制系統安裝在移動架內，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥，可以用于CVD系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響，在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用，廣泛應用于電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它分析儀器。
| 產品型號 | 混氣系統3路質子GSL-3Z |
| 主要特點 | 精度高，運行穩定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。 |
| 技術參數 | 1、電源：185-245V 50Hz 2、輸出功率：18W 3、控制范圍：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM 5、準確度：±1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8、響應時間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼 9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混氣罐：Ø80mm×120mm 12、截止閥：Ø1/4″，316不銹鋼針閥 13、工作溫度：5-45℃ |
| 產品規格 | 尺寸：600mm×600mm×650mm |
