產(chǎn)品簡(jiǎn)介：500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4是一款電動(dòng)真空平板式真空熱壓機(jī)，專門用于晶片的焊接和薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理樣品尺寸為100mm×100mm，工作溫度為500℃，在此溫度下可對(duì)樣品實(shí)加的壓力為6T（七月份更改為壓力40T）。
500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4操作視頻
| 產(chǎn)品型號(hào) | 500ºC真空熱壓機(jī)VHP-5T-4 |
| 主要特點(diǎn) | 1、加熱平臺(tái)中間嵌有1000W的加熱管，可達(dá)到快速加熱的效果；加熱平臺(tái)頂端設(shè)有水冷管（當(dāng)工作溫度高于200 ℃時(shí)請(qǐng)注入冷卻水（>15L/min）），以達(dá)到快速冷卻的效果。 2、采用兩個(gè)精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺(tái)，且可設(shè)置30段升降溫程序，采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)功能。 3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入計(jì)算機(jī)。 4、數(shù)字壓力顯示器安裝在真空腔體外，可設(shè)置其壓力，當(dāng)壓力達(dá)到設(shè)置值時(shí)電機(jī)將自動(dòng)停止。 5、液壓裝置和加熱臺(tái)都置于真空腔體內(nèi)，且腔體采用304不銹鋼制作，并焊有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形）。 6、真空腔體前端設(shè)有觀察窗。 7、一個(gè)高靈敏度的真空計(jì)安裝于真空腔體上，測(cè)量?jī)?nèi)部的真空度。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：2500W 3、加熱平臺(tái)：采用高溫合金鋼制成，可承受溫度500℃，尺寸135mm×135mm，兩平臺(tái)間可移動(dòng)距離15mm 4、液壓泵：40T的電動(dòng)液壓機(jī)與真空腔體相連接，壓力控制精度為±0.01MPa（0.1kg/cm2），自動(dòng)壓力控制并帶有數(shù)顯 5、工作溫度：500℃ 6、升溫速率：<10℃/min 7、控溫精度：±1℃ 8、真空度：10E-3torr 9、內(nèi)部腔體尺寸：372mm×420mm×480mm 10、觀察窗口：Ø150mm |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：600mm×500mm×400mm |
