PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
功能特點 |
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- 擁有6英寸清洗腔室,可清洗約5英寸直徑的基片
- 通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間
- 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上
- 設(shè)有一個三通閥,可大體控制進氣流量
技術(shù)參數(shù) | |
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主要參數(shù) |
● 輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W ● 總功率:<600W ● 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié) ● 電源:AC220V 50Hz ●
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等離子腔體 |
● 高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 ● 帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T,便于樣品加載和觀察 ●
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控制面板 |
● 控制功能:清潔時間,射頻功率,真空泵。 ●
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真空泵(標(biāo)配) |
● 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵 ●
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等離子清洗機及刻蝕的方法 |
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惰性氣體 |
● 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定) ● 等離子清洗機不得使用易燃及腐蝕性氣體
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可選配件 |
● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案,PCE-6等離子清洗機可以與2路混氣系統(tǒng)組合 ● 您可以訂購石英晶片載體來盛放清潔的基片 ●
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外形尺寸 |
400mm×300mm×300mm
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凈重 |
10.2kg
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認證 |
CE認證
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質(zhì)保期 |
● 一年保修,終身技術(shù)支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |