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PCE-6 小型等離子清洗機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/2/14 9:54:23
  • 訪問次數(shù)348
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務(wù)平臺,為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實驗設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備; ? 功能薄膜研發(fā)實驗設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實驗設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實驗室和設(shè)備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時,深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)。縱觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護航的重要保障。科晶團隊將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻。
簡要描述:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 160mm190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。
PCE-6 小型等離子清洗機 產(chǎn)品信息

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

功能特點
  • 擁有6英寸清洗腔室,可清洗約5英寸直徑的基片
  • 通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間
  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上
  • 設(shè)有一個三通閥,可大體控制進氣流量
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W

● 總功率:<600W

● 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)

● 電源:AC220V 50Hz

等離子腔體

● 高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗

● 帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T,便于樣品加載和觀察

控制面板

● 控制功能:清潔時間,射頻功率,真空泵。

真空泵(標(biāo)配)

● 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵

等離子清洗機及刻蝕的方法

惰性氣體

● 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

● 等離子清洗機不得使用易燃及腐蝕性氣體

可選配件

● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案,PCE-6等離子清洗機可以與2路混氣系統(tǒng)組合

● 您可以訂購石英晶片載體來盛放清潔的基片

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

凈重

10.2kg

認證

CE認證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。



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