詳細信息
HCP621G-ELP專為橢圓偏振儀設計。其專用上蓋支持70°的出入射角度,臺體溫度范圍 -190℃ ~ 600℃,同時允許光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制。上蓋與底殼構成一個氣密腔,可往內充入氮氣等保護氣體,來防止樣品在負溫下結霜,或高溫下氧化。
功能特點 |
橢偏儀專用冷熱臺,70°出入射角 |
-190℃~600℃ 可編程控溫(負溫需配液氮制冷系統(tǒng)) |
28 mm x 30 mm加熱區(qū) |
可充入保護氣體的氣密腔 |
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK |
溫控參數 | |
溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃(負溫需配液氮制冷系統(tǒng)) |
加熱塊材質 | 銀 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
加熱/制冷速度 | +150℃/min (100℃時) -50℃/min (100℃時) |
最小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃(>25℃) ±0.1℃(<> |
軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 |
光學參數 | |
適用光路 | 斜反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
最小物鏡工作距離 | 13.2 mm *截面圖中WD |
入射角度/出射角度 | 70.0° / 70.0° |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數 | |
加熱區(qū)/樣品區(qū) | 28 mm x 30 mm |
樣品腔高 | 4.3 mm *樣品厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
氣氛控制 | 氣密腔,可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近 |
安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
臺體尺寸/重量 | 97 mm x 84 mm x 36.5 mm / 500g |
配置列表 | |
基本配置 | HCP621G-ELP冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統(tǒng) 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng) |